Ⅲ 族氮化物
半导体材料广泛用于紫、蓝、绿和白光发光二极管，高密度
光学存储用的紫光
激光器，紫外光探测器，以及高功率高频
电子器件。然而由于缺乏合适的衬底，目前高质量的
GaN膜通常都生长在蓝宝石或SiC衬底上，但是这两种衬底部都比较昂贵，尤其是碳化硅，而且尺寸都比较小。蓝宝石还有硬度极高和不导电的缺点。为克服上述缺点，人们在用硅作衬底生长GaN方面一直不断地进行探索。由于GaN材料的电荧光对晶体缺陷并不敏感，因此人们预期在Si衬底上异质外延生长Ⅲ族氮化物发光器件在降低成本方面具有明显的技术优势。
7ZAxhFC ,ynN801\m 人们还期待使用Si衬底今后还有可能将光发射器与硅电子学集成起来，将加速和扩大氮化镓在光电子和微电子方面的应用。
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