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    [求助]请教一下二氧化硅，二氧化钛的折射率与充氧的关系 [复制链接]

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    离线xiawj0951
    实习生
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    只看该作者 10楼 发表于: 2007-06-22
    一般而言，氧化钛充氧太低的话会由于镀膜过程中失氧，导致产生吸收。充氧过高的话，折射率会降低。二氧化硅失氧很少，一般充氧压力要低些。 'y [eH  
    像TIO2，典型的充氧压为1.2-1.6*10-4TORR, 二氧化硅典型的充氧压为7-9*10-5TORR
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    离线jhshui
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    只看该作者 11楼 发表于: 2008-11-16
    引用楼主007771021于2006-04-27 10:59发表的 请教一下二氧化硅，二氧化钛的折射率与充氧的关系 : |hjm^{!TpW  
      本人在使用这两种膜料的时候，感觉不是十分的稳定，不知道该如何控制充氧量。还有就是，充氧量和他们的折射率的关系是怎样的。特来请教一下各位高人。谢谢
    fPf8hz>  
    i2SR.{&  
    如果充氧量大，Si被充分氧化，则薄膜折射率与化学计量比的块体二氧化硅的应该接近，若充氧量小，Si氧化不够，则薄膜中会有单质Si存在，则折射率会高一些。另外空隙率的多少也会影响到折射率。充氧量的大小会影响到沉积速率，从而影响孔隙率。
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    离线gszljw
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    只看该作者 12楼 发表于: 2008-11-22
    TIO2的充O2量一般为1.2*10-4Torr
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    离线lwt2004
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    只看该作者 13楼 发表于: 2008-12-12
    对于TiO2来说，导氧多屈折率高，导氧少屈折率低。如果作IRcut的话，导氧多屈折率高，带宽比较宽。通常情况下，TiO2的导氧量差不多1.0E-2——2.0E-2Pa之间，但是最基本的原则是没有吸收。Sio2是不用导氧的，屈折率基本没有变化。
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    离线9603128
    工程师
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    只看该作者 14楼 发表于: 2009-04-13
    通常情况下，TiO2的导氧量差不多2.0E-2——2.8E-2Pa之间，但是最基本的原则是没有吸收。Sio2是不用导氧的，屈折率基本没有变化。
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    离线shenbin
    技术员
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    只看该作者 15楼 发表于: 2009-04-19
    好问题值得关注
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    离线aimaer
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    只看该作者 16楼 发表于: 2009-05-13
    SiO2一般不充,Tiox充15~35sccm之间,跟index相关.
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    离线dzhhao
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    只看该作者 17楼 发表于: 2012-03-26
    我有台机器，内腔比较大，充40SCCM，真空度还在10-5torr量级，看IAD的参数真空度在10-4torr.那得充多少流量才能到10-4量级？
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    离线f4213705
    技术员
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    只看该作者 18楼 发表于: 2012-03-27
    充多了，偏薄，充少了，偏后
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    离线tomysmith68
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    只看该作者 19楼 发表于: 2012-03-27
    我们的设备好像做增透膜的时候，使用二氧化硅，不需要充氧呀 fXNl27c-  
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