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    [求助]光刻机的薄膜 [复制链接]

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    离线zhoufx
    实习生
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2011-01-22
    关键词： 光刻机增透膜高反膜
    为什么光刻机中同时用到了增透膜和高反膜？分别是用到了哪部分？
     
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    离线zhenge88
    实习生
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    光券
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    只看该作者 1楼 发表于: 2020-08-02
    透镜用增透膜，反射镜用高反膜。
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