刚刚下载这本书看了下,这本书是浙大顾培夫编著的《薄膜技术》,1990年浙江大学出版社出版。
rOIb9: 书的内容还是很全面的,共有九章,分别为:
?y>N&\pt2 第一章 真空设备
68%aDs 第二章 制备技术
Xz]l#w4Pp 第三章 制备工艺因素
Jcw^Z, 第四章 薄膜材料
egmUUuO 第五章 膜层厚度的均匀性
W5jwD 第六章 薄膜的厚度监控
0JR/V68$ 第七章 薄膜的结构特性
2j\_svw' 第八章 光学薄膜性质及其测量
<J%qzt} 第九章 薄膜的力学性质及其检测
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