刚刚下载这本书看了下,这本书是浙大顾培夫编著的《薄膜技术》,1990年浙江大学出版社出版。
?*Jv&f# 书的内容还是很全面的,共有九章,分别为:
!x&/M*nBE 第一章 真空设备
pWeKN` 第二章 制备技术
IY+P Yad 第三章 制备工艺因素
\QQw1c+ 第四章 薄膜材料
{wK98 >$a 第五章 膜层厚度的均匀性
N U\B 第六章 薄膜的厚度监控
`vUilh ^c 第七章 薄膜的结构特性
Z?dz@d%C 第八章 光学薄膜性质及其测量
JH5ckgdZ 第九章 薄膜的力学性质及其检测
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