刚刚下载这本书看了下,这本书是浙大顾培夫编著的《薄膜技术》,1990年浙江大学出版社出版。
QB#f'X 书的内容还是很全面的,共有九章,分别为:
YNn,{Xi 第一章 真空设备
K_ Y0;!W 第二章 制备技术
/XEcA5C< 第三章 制备工艺因素
W>K2d
第四章 薄膜材料
Cq
!VMl>hP 第五章 膜层厚度的均匀性
6|X 第六章 薄膜的厚度监控
$n(?oyf 第七章 薄膜的结构特性
YUfuS3sX} 第八章 光学薄膜性质及其测量
j^llO1i/ 第九章 薄膜的力学性质及其检测
7XT2d=)" bd_U%0)pi1 [ 此帖被hithy在2013-11-16 20:43重新编辑 ]