刚刚下载这本书看了下,这本书是浙大顾培夫编著的《薄膜技术》,1990年浙江大学出版社出版。
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tK3J 书的内容还是很全面的,共有九章,分别为:
`w1|(Sk$h 第一章 真空设备
%l!Gt"\xm 第二章 制备技术
/ov&h; 第三章 制备工艺因素
w%&lCu@v 第四章 薄膜材料
pt&(c[ 第五章 膜层厚度的均匀性
GpV"KVJJ/ 第六章 薄膜的厚度监控
q[#2` 第七章 薄膜的结构特性
#8G(r9 第八章 光学薄膜性质及其测量
~{hcJ:bI 第九章 薄膜的力学性质及其检测
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