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    [求助]请问如附件所示的非球面柱面镜如何检测？ [复制链接]

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    离线bluejewls
    技术员
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2010-06-20
    关键词： 精度非球面柱面镜检测微米
    最近遇一课题，需要用到非球面柱面镜，加工出来了，但麻烦的是，不知如何检测。面型精度要求较高，偏差5微米左右。请问各位大侠有什么好办法？ 4nXemU=  
     
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    离线328555707
    实习生
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    只看该作者 1楼 发表于: 2010-07-02
    用ZYGO机可测试，它有CGH配件，专用于测柱面面形
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    离线121331768
    助理工程师
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    只看该作者 2楼 发表于: 2010-07-02
    楼上正解！
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    离线binaryoptics
    技术员
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    只看该作者 3楼 发表于: 2012-10-05
    需用干涉仪和特别订制的CGH
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