高
功率垂直
腔面发射
激光器(VCSEL)技术,为光泵浦、工业和医疗等应用提供了可靠的高温工作特性。
.G[/4h :. -Q n-w3~& 高功率边发射
半导体激光器广泛应用于工业、医疗以及国防等多个领域,也是固体激光器泵浦和
光纤激光器泵浦的普遍选择。然而众所周知,在高功率密度下,边发射半导体激光器的发射腔面容易产生
光学灾变性损坏(COD),这是导致高功率边发射半导体激光器性能下降的一个致命因素。[1]相比之下,垂直腔面发射激光器(VCSEL)中则没有COD,因为其增益区是嵌入到外延结构中的,因此也不会暴露在外界环境中(见图1)。此外,在边发射半导体激光器中,与边发射结相连的光波导的面积相对较小,从而导致其比VCSEL具有更高的功率密度。通常,一个典型的边发射激光器的故障率(FIT率定义为每10亿个器件工作小时中所出现的故障数)为500或更高。[2]相比之下,VCSEL的FIT率为10或更小。[3][4]也就是说,一个使用VCSEL作泵浦源的系统,其使用寿命至少要比用边发射激光器作泵浦源长50倍。
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