我是用ArF准分子激光做医疗设备的，激光波长193nm，激光器是德国TUI生产的，脉冲式发光，最大功率3000mw。准分子激光激光器属于气体激光器，其工作原理是：将高纯度的气体与卤素气体在高电场产生的光线（脉冲形式）下混合而得到的激光。 vf@j d}?
这种激光器所产生的激光光斑一般是长方形的，能量分布在x轴上是高斯分布，在y轴上是草帽型分布，为了能使激光对物质的切削达到最光滑一般采用以下方法：降低作用激光的能量密度；改变光斑形态为圆形。 n*ShYsc
现在有两种方法： ?< ^8,H
1、先用小孔光阑截取方形光斑中央部分以使得到的圆形光斑能量形态最好，再用凸透镜对光束进行聚焦。这种方法优点是光路简单。缺点是；1、能量损失大2、对原始光斑质量要求非常高，调节难度大。 E9>z. vV
2、先将原始光束微分后再将光束积分。这种方法的优点是对原始光斑要求不高，缺点是光路复杂，损耗高。 ZO/Jf Jn~
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那位高手可指点一二，多谢。
