900型箱式真空镀膜机操作步骤： 0<u (!iL
1.进入水泵房,开水泵和气源,水的温度控制在20摄氏度以下 !f)^z9QX8
2.进入镀膜室,拉上电闸,打开镀膜机总电源,使镀膜机启动,此时镀膜机显示警报,关闭警报.然后在触摸屏上点击维持泵图标,扩散泵开始预热,等待温度上升到270摄氏度,一般要1h左右. uTR FeO>
3.开始打扫镀膜室卫生,保持较高的清洁度.在吸尘工作台上擦拭基片,采用酒精和乙醚混合液擦拭,而后在60w的检验等下检测,擦拭完毕安装到真空室的旋转工件架上,旋转工件架检测是否固定.然后向7号和8号坩埚中填ZrO2膜料.关上真空室门 O%m>4OdH
4.扩散泵到270摄氏度,启动机械泵,然后点旁通阀和低通阀开始抽低真空,使真空度达到10~3Pa时,启动罗茨泵,真空度达到3Pa时关闭维持泵,此时抽低真空完毕 Zz^!QlF
5.关闭旁通阀和低通阀,打开阈阀和高通阀,再点烘烤和右修正挡板.等到真空度达到4×10~-3Pa fB`7f
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6.真空度达到4×10~-3Pa时,打开电子枪电源,按下速流和灯丝按钮,通过观察窗观察光斑位置,调节电子枪横纵旋钮,使矩形光斑内切与坩埚.旋转电子枪速流旋钮,在光控仪上速流显示100时开始熔ZrO2膜料,调整光斑位置,调节速流达到150,再次调整光斑位置,然后调节速流达到200. C>Cb
7.打开挡板,开始蒸镀.缓慢调节速流旋钮,使光控仪上的速率上升到3.0左右.等到光能量走过3个极值之后,关上挡板换上8号坩埚,打开挡板,当在走过3个极值之后关上挡板. gbjql+Mx+
8.快速调节速流为零,关闭电子枪电源.然后关闭烘烤,修正挡板,高通 阀和阈阀,打开维持泵,关闭罗茨泵和机械泵 M1 _1(LSU
9.等到烘烤温度下降到120摄氏度,停止旋转工件架,然后点充气图标开始往真空室充气 D:fLQ8a
10.取出工件,关机
