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    [求助]MgF2材料的问题 [复制链接]

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    离线122323326
    实习生
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    只看该作者 20楼 发表于: 2012-03-28
    工艺问题。。。。。
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    离线jh1008111
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    只看该作者 21楼 发表于: 2012-04-26
    用什么控制的啊？一般好像还好哦
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    离线ken_jinyan1
    技术员
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    只看该作者 22楼 发表于: 2012-08-03
    我们公司要求换，就是控制喷溅
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    离线xiaohuilee
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    只看该作者 23楼 发表于: 2012-08-24
    也许是工艺方面除了问题 其速率为7-10A/S 基底温度200以上
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    离线zhubinyz
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    只看该作者 24楼 发表于: 2012-09-10
    1.外观较严的机种都要更换 SBY0L.  
    2.速率还是比较稳定
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    离线zhubinyz
    技术员
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    只看该作者 25楼 发表于: 2012-09-24
    很好，想法还行
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    离线shenyuning
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    只看该作者 26楼 发表于: 2012-10-12
    这个我也经常遇到
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    离线563508843
    助理工程师
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    只看该作者 27楼 发表于: 2012-10-26
    MgF2镀膜后表面结晶，用量很浅，SIO2镀膜为什么用量很深呢？哪位解释一下？？
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    离线温晓雷
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    只看该作者 28楼 发表于: 2012-10-29
    电子枪输出功率稳定的话速率还是可以的。 <iM}p^jX9  
    MgF2用过一次后上面有一层硬的里面可能会有MgO2直接2次利用的话容易出斑孔，可以把上面一层丢掉下面保留再在上面加一层新药即可。
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    离线a060103112
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    只看该作者 29楼 发表于: 2013-02-27
    经过我们测试，氟化镁的确蒸镀过程中蒸发速率欠佳，但还是看你要求 \]Rmq_O  
    氟化镁用过最好就别用了，因为表面生成的氧化镁阻止了氟化镁的升华，导致喷溅
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