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    [求助]什么是保护气，镀膜中的保护气起什么作用啊？ [复制链接]

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    离线1985120
    助理工程师
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2009-10-08
    什么是保护气，镀膜中的保护气起什么作用啊？
     
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    离线韦尔铭
    实习生
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    光券
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    只看该作者 1楼 发表于: 2022-12-07
    1、镀金属膜时，一般用氩气作为工作气体，它是惰性气体，在真空状态下加热基片时不会发生氧化作用。2、氧气一般用于镀非金属膜，如TiO2，不必担心镀好膜后发生膜氧化现象。3、氮气是在换靶镀膜时往真空室冲入的气体，让真空室内压强和大气压强保持相等，才能开盖换靶镀另一层膜。
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