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    [论文]薄膜厚度和消光系数的透射光谱测量方法(doc文档) [复制链接]

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    离线cyqdesign
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2009-09-16
    薄膜厚度和消光系数的透射光谱测量方法摘要:本文提出薄膜厚度和消光系数的标准曲线测量法,论述了方法的测量原理和测量程序。该法的膜厚的测量范围为~80nm到2000nm;膜厚的测量误差大约为13nm。 p=jIDM'  
    e b*w$|y6"  
    关键词:薄膜、厚度、消光 y9::m]s  
    kN8?.V%Utw  
    自洁净玻璃的自洁净性能、低幅射玻璃的低幅射性能都与其膜层的厚度、折射率和消光系数有着密切的关系[1]。近代微电子学装置,如成像传感器太阳能电池、薄膜器件等都需要这些参数[2] 。这些参数的数据是薄膜材料、薄膜器件设计的必不可少的基础性数据。 N*{>8iFo4  
    d>bS)  
    通常都是单独测量这些参数,薄膜厚度用原子力显微镜、石英震荡器、台阶仪、椭偏仪、干涉法来测量。薄膜折射率的测量就比较麻烦,因为它是波长的函数,它可以用基于干涉、反射原理的方法测量。从薄膜的吸收谱就可测量其消光系数。显然,取得这些数据是很麻烦、很费时、成本也很高,特别是对于纳米级薄膜。 U/j+\Kc~  
    @FLa i  
    2000年,美国Princeton等大学提出[2] ,从物理角度建立透射光谱模型,调整模型中的未知的参数,即薄膜厚度、折射率、消光系数,使透射光谱的理论曲线同实验曲线重合,这就同时取得薄膜的厚度、折射率、消光系数等数据。他们用这种方法同时测量了“玻璃-薄膜” 系统的薄膜的厚度、折射率、消光系数等数据。显然,这是取得这些数据的简便、快速、低成本的方法,是这领域的一个发展趋势。 ,/1[(^e  
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    离线wz82
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    只看该作者 1楼 发表于: 2009-09-17
    谢谢。
    离线jgy579
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    只看该作者 2楼 发表于: 2009-09-17
    感谢。
    离线708949346
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    只看该作者 3楼 发表于: 2009-10-20
    lai kankan haodongxi
    离线yeqingyezi
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    只看该作者 4楼 发表于: 2009-10-20
    多谢!
    离线gchtang
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    只看该作者 5楼 发表于: 2009-10-28
    薄膜厚度和消光系数的透射光谱
    离线gchtang
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    只看该作者 6楼 发表于: 2009-10-29
    希望中
    离线soloroc
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    只看该作者 7楼 发表于: 2009-10-29
    看看!!!!!
    离线ddwxq
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    只看该作者 8楼 发表于: 2009-12-12
    哦,我很想知道
    离线willis2007
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    只看该作者 9楼 发表于: 2010-01-01
    谢谢        斑竹