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    [求助]镀膜机抽不动,请达人。急!!!! [复制链接]

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    离线dcjlcm
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    只看该作者 10楼 发表于: 2010-07-23
    原来是坩埚密封圈有问题
    离线小韩同学
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    只看该作者 11楼 发表于: 2010-08-03
    学习了!
    离线09njtpw
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    只看该作者 12楼 发表于: 2010-08-04
    小弟我也来学学
    离线平几
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    只看该作者 13楼 发表于: 2010-08-23
    引用第6楼27676995于2010-04-24 23:58发表的 : B /uaRi%  
    检漏  查看扩散泵烘烤丝 在看看你的温度测环 用比较真空计检查真空计 包括高真空规管 都OK了的话 再换油  先烧油10小时以上 不停抽 到5.5 充气再抽 到正常为止 !不能正常的话 再拆泵 检查 扩散泵 找找扩散泵原理的资料 1.2.3级排气有啥问题 !有问题的话  能加工修复最好  没问题换泵  南光的泵不怎么地 呵呵 就是麻烦 }&/>v' G  
    A{;"e^a-^l  
    这个专业,楼主照做,胆大心细,没问题
    离线平几
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    只看该作者 14楼 发表于: 2010-08-23
    引用第10楼dcjlcm于2010-07-23 02:20发表的 : 3 .#L  
    原来是坩埚密封圈有问题 AJ>E\DK0]  
    @&m]:GR  
    果然还是漏气!!!
    离线朱小朱
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    只看该作者 15楼 发表于: 2010-09-08
    应该继续查漏点
    离线runhuazheng
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    只看该作者 16楼 发表于: 2010-09-19
    回 9楼(dcjlcm) 的帖子
    怎么解决的 上来回个话啊
    离线wqc1987
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    只看该作者 17楼 发表于: 2010-09-20
    真空检测设备出现问题   清理或更换
    离线lm93
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    只看该作者 18楼 发表于: 2010-10-02
    xiexie
    离线zhaozhipeng
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    只看该作者 19楼 发表于: 2015-04-22
    用检漏仪简陋