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    • ZEMAX光学系统设计实战 Zemax光学设计从基础到实践 成像衍射光学元件设计及应用 现代光学与光子学技术
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    [求助]镀膜机抽不动，请达人。急！！！！ [复制链接]

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    离线dcjlcm
    实习生
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    只看该作者 10楼 发表于: 2010-07-23
    原来是坩埚密封圈有问题
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    离线小韩同学
    助理工程师
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    只看该作者 11楼 发表于: 2010-08-03
    学习了！
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    离线09njtpw
    高级工程师
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    只看该作者 12楼 发表于: 2010-08-04
    小弟我也来学学
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    离线平几
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    只看该作者 13楼 发表于: 2010-08-23
    引用第6楼27676995于2010-04-24 23:58发表的 : qGCg3u6  
    检漏  查看扩散泵烘烤丝 在看看你的温度测环 用比较真空计检查真空计 包括高真空规管 都OK了的话 再换油  先烧油10小时以上 不停抽 到5.5 充气再抽 到正常为止 ！不能正常的话 再拆泵 检查 扩散泵 找找扩散泵原理的资料 1.2.3级排气有啥问题 ！有问题的话  能加工修复最好  没问题换泵  南光的泵不怎么地 呵呵 就是麻烦 di2=P)3  
    [Gy'0P(EQ  
    这个专业，楼主照做，胆大心细，没问题
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    离线平几
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    只看该作者 14楼 发表于: 2010-08-23
    引用第10楼dcjlcm于2010-07-23 02:20发表的 : 3MJWCo-[  
    原来是坩埚密封圈有问题 O \8G~V 5"  
    6RQCKN)  
    果然还是漏气！！！
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    离线朱小朱
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    只看该作者 15楼 发表于: 2010-09-08
    应该继续查漏点
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    离线runhuazheng
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    只看该作者 16楼 发表于: 2010-09-19
    回 9楼(dcjlcm) 的帖子
    怎么解决的 上来回个话啊
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    离线wqc1987
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    只看该作者 17楼 发表于: 2010-09-20
    真空检测设备出现问题   清理或更换
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    离线lm93
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    只看该作者 18楼 发表于: 2010-10-02
    xiexie
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    离线zhaozhipeng
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    只看该作者 19楼 发表于: 2015-04-22
    用检漏仪简陋
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