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关于阻蒸过程中膜料溢出的问题
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关于阻蒸过程中膜料溢出的问题
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lywfeng
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发表于: 2009-07-09
最近在蒸发YbF3过程中,不定时的出现膜料从蒸发舟溢出现象,并因此导致零件表面出现材料点,使合格率下降。膜料溢出后导致膜层表面出现材料点的问题虽然有据可查,但为何膜料会从蒸发舟中溢出却一直未排查出原因。
r} _c
@+,pN6}g
BZK`O/
敬请高手指教
[ 此帖被lywfeng在2009-07-10 22:08重新编辑 ]
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lywfeng
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发表于: 2009-07-12
急需解决此工艺问题,哪位大侠帮帮忙啊
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caoguoyin
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发表于: 2009-07-12
查查你的阻蒸功率工艺是否稳定吧
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lywfeng
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发表于: 2009-07-13
回 2楼(caoguoyin) 的帖子
应该不是阻蒸功率的问题,用阻蒸的时候向来都是自动程序配合手动控制,此问题都是出现在同一膜料YbF3上,且发生时间不具备习惯性,目前没有发现规律
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damao
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4楼
发表于: 2009-11-12
这好像是个普遍问题吧,需要在工艺上想办法吧
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dede
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5楼
发表于: 2012-05-09
蒸发舟中溢出?能否加个盖子
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冰雨8788
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6楼
发表于: 2012-09-19
我们前期用蒸法舟镀Al时,溢出也较严重
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ru777rr
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7楼
发表于: 2012-09-20
可以換廠商試試看
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a060103112
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8楼
发表于: 2013-02-27
加电流一定要稳定均匀,如果是手动镀膜的话,必须找熟手
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clark007
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9楼
发表于: 2013-05-30
是啊,我也碰到这个问题,大家还有什么经验?
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