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    [讨论]膜系设计相关问题 [复制链接]

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    离线lawsonfang
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2005-07-28
    各位同行大哥大姐,小弟这有一个膜系设计的问题想请教大家。 F6VIH(  
    5zna?(#}  
    我在膜系设计时开始没有考虑到设计TOOLING。设计并优化了膜系。光谱符合我们的要求。加上设计TOOLING后就不行了。我想请教各位:tooling 是1 的时候和不是1,比如是1.27(TI3O5)时它们之间有没有一个换算关系. =XlIe{  
    ?<^AXLiKV  
    小弟不才.H层和L 层TOOLING 不是1 的时候我很难控制它的中心波长. -wMW@:M_  
    2!?z%s-S  
    拜托各位了.小弟再次谢过了. #2ASzCe  
    [qMdOY%jx  
    我的邮箱:fang198112042001@163.com
     
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    离线birdy
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    只看该作者 1楼 发表于: 2005-07-28
    你用的是什么软件?TOOLING是什么上的tooling,是厚度控制上的吗?一般都是正比例关系,或者直接就是乘积的关系,具体的关系,相应的软件说明里应该有的
    离线lawsonfang
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    只看该作者 2楼 发表于: 2005-07-30
    是软件里面的设计TOOLING。比如H层(TI3O5)为1.21,L层(SIO2)为1.102.它的这个TOOLING 是我们测3。1算出来的。通常都不会是1。 H-KwkH`L4  
      但我们在设计的时候算设计波长是:根据g的半宽和我们所要求的中心波长来算的。如果TOOLING不是1的话。所算出来的设计波长就不准了。 ^J~A+CEf"W  
      我想知道我们可不 可以先用TOOLING是1来设计。等设计好了之后再用一个公式什么的来转换呢。 "`*a)'.'^c  
      非常感谢~~~!!! m&0BbyE.z  
                      再次谢谢~~!!!!
    离线flyinlove79
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    只看该作者 3楼 发表于: 2005-08-01
    可以先把tongling定为1.这个应该是相乘的关系,一般的软体都把tooling 的默认值设置为1,然后自己在根据自己的设备情况进行调整。
    离线flyinlove79
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    只看该作者 4楼 发表于: 2005-08-01
    楼主用的是什么软件?
    离线lawsonfang
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    只看该作者 5楼 发表于: 2005-08-01
    谢谢各位了。。我回家里试过了。也还可以。。呵呵。。
    离线kevin980828
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    只看该作者 6楼 发表于: 2005-08-28
    请问TOOLING是啥意思?
    离线birdy
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    只看该作者 7楼 发表于: 2005-08-29
    其实就是一个比例系数啊。在这里就是实际厚度和理论厚度的比值。
    离线dzk999
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    只看该作者 8楼 发表于: 2006-02-22
    是不是膜厚控制的tooling啊?如果是,对于同一个蒸发源,一般的不同材料tooling差别不大啊。 ~3'RW0  
    如果楼主成膜时H、L材料使用不同的蒸发源,建议将两个蒸发源的tooling调成一样。 0;FqX*  
        无论怎样,设计是也是可以按照理想状态设计的,只不过镀膜程式要随需变化。遇到搂住的情况,在下觉得问题不在设计,而应该考虑设备方面的问题。
    离线sunkexian
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    只看该作者 9楼 发表于: 2007-07-22
    好呀我来了又