1.前言
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lE J~Xv R 近年来，给家电行业带来繁荣的民用磁带录像机(VTR)，是由于磁头的微细槽加工技术得到确立所致。进而IC存储芯片的存储器扩大竞争是因为步进器为代表的微小定位装置和
光学透镜系统取得非常大的进步。可以说，这些尖端加工技术，使日本上升为—个技术国家。
V|7Y Ra@ 但是，这些尖端加工技术，是所谓精密定位技术，从轮廓生成的观点来看时，其精度还低1个或2个数量级、勉强进入微米级，可以说与欧美的超精密技术相比，还差1、2步则是实情。
e%4?-{( 随着
半导体激光器等各种
激光器和 X射线应用机器的发达，对光学透镜(球面、非球面透镜)和反射镜、聚光镜均要求形状精度在亚微米以上。因此，为适应这种精度远远超过原计划水平的要求，我们开发出采用出静压机械元件和激光式测长系统构成的全封闭系统的“SUP一200L”型超精密 NC车床。在微米、亚微米的高精度车床方面，本公司在 VTR业界和软驱动领域销售了有数百合以上交付实绩。
EP;/[ O 1985年6月作为向超精密方面迈进第一步，开发了超精密小型磁盘加工机。下面就以其实绩和研究作为基研而开发的“SUP一200L”(照片1)说明车床的设计思想和其性能。
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