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    [求助]关于波长控制的一个话题 [复制链接]

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    离线oudexu
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2008-12-21
    请教大家一个问题，机器离子溅射，在控制波长方面，以往是调节试样镜片到靶的距离就行了，而且非常敏感。最近几次调了很多距离也不见波长有变化。请问造成这种情况有哪些可能呢？ M%Q_;\?]  
    膜厚控制为光学极值法。
     
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    离线yzhuang
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    只看该作者 1楼 发表于: 2008-12-21
    第一次听说这样调节的,我们调节的一般是单色仪的输出波长,基片位置是不动的,补充一下,我的是真空蒸镀
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    离线oudexu
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    只看该作者 2楼 发表于: 2008-12-22
    老式设备嘛 _^F%$K6  
    我们机器镀膜和测波长是分开的
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    离线oudexu
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    只看该作者 3楼 发表于: 2008-12-22
    我们机器是老式设备 U+@rLQ.-  
    镀膜和波长检测是分开的
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    离线9603128
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    只看该作者 4楼 发表于: 2009-03-04
    我是第一次听说这样调节的,我们调节的一般是单色仪的输出波长,基片位置是不动的,补充一下,我的是真空蒸镀，不应当有这种情况的
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