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    [求助]膜脱落问题 [复制链接]

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    离线b57322710
    实习生
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2008-07-03
    磁控溅射 $j<KXR  
    在PET上镀Cr  ms&1P  
    IBCS有打  真空度在4.5e-3  但用胶纸可以把膜粘下来  请问到底是哪出现问题 b:p0@|y  
    谢谢
     
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    离线flyinlove79
    论坛版主
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    只看该作者 1楼 发表于: 2008-07-13
    要具体分析你的工艺过程，脱膜的原因有很多的
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    离线wufei1986
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    只看该作者 2楼 发表于: 2008-07-30
    烘烤温度和材料有关
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    离线zhuwgen
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    只看该作者 3楼 发表于: 2008-12-13
    污染及温度有关
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