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    [求助]镜片膜裂问题 [复制链接]

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    离线zhongjiagang
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    只看该作者 10楼 发表于: 2021-02-08
    1. 打底层最好用TiO2 ^e>Wo7r  
    2. 机器不要加温,把能量放到IBS这边; \3jW~FV  
    3. IBS的能量要有一个梯度 R &4Z*?S  
    4. 整个镀膜后的温度要用测温纸测一下,以此来判断你IBS的energy是否合理
    离线ouyuu
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    只看该作者 11楼 发表于: 2021-02-11
    TiO2和SiO2薄膜应力的产生机理及实验探索.zip (144 K) 下载次数:82 T'aec]u  
    3QOUU,Dt$  
    膜裂一般是由应力产生的,一般来讲,张力会造成膜裂。 2{.QjYw^  
    而在常温下,SiO2表现为张力,TiO2表现为压力。 z|(+|pV(  
    所以按原理来讲,第一层镀TiO2对膜裂的改善会比较好。 N9<Ujom  
    +/;*|  
    而且从附件论文的数据来看,开IAD比不开要好。 "A)( "  
    ?}Lg)EFH  
    但是如果膜裂是由吸水造成的,那又是另外一种情况。 34R!x6W0  
    最好用卤素灯加热一下,镀膜前再离子源打一下做一下表面的清洁。 M}wXJ8aF?  
    只要不超过90度是没什么问题的。
    [ 此帖被ouyuu在2021-02-11 15:31重新编辑 ]
    离线chenfadi
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    只看该作者 12楼 发表于: 2021-11-08
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