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镜片膜裂问题
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zhongjiagang
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10楼
发表于: 2021-02-08
1. 打底层最好用TiO2
a>mm+L8y
2. 机器不要加温,把能量放到IBS这边;
W>q HFoKa
3. IBS的能量要有一个梯度
6sa"O89
4. 整个镀膜后的温度要用测温纸测一下,以此来判断你IBS的energy是否合理
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ouyuu
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11楼
发表于: 2021-02-11
TiO2和SiO2薄膜应力的产生机理及实验探索.zip
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W+*5"h
l3nrEk
膜裂一般是由应力产生的,一般来讲,张力会造成膜裂。
"bDs2E+W
而在常温下,SiO2表现为张力,TiO2表现为压力。
6%Be36<
所以按原理来讲,第一层镀TiO2对膜裂的改善会比较好。
O$IjNx
>J u]2++lx
而且从附件论文的数据来看,开IAD比不开要好。
Cuc$3l(%
/O]t R
但是如果膜裂是由吸水造成的,那又是另外一种情况。
,RN:^5 p
最好用卤素灯加热一下,镀膜前再离子源打一下做一下表面的清洁。
QJ|a p4r
只要不超过90度是没什么问题的。
[ 此帖被ouyuu在2021-02-11 15:31重新编辑 ]
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chenfadi
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12楼
发表于: 2021-11-08
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