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    [求助]镜片膜裂问题 [复制链接]

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    离线zhongjiagang
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    只看该作者 10楼 发表于: 2021-02-08
    1. 打底层最好用TiO2 !|K~)4%rj  
    2. 机器不要加温，把能量放到IBS这边； Gqvnc8V&  
    3. IBS的能量要有一个梯度 "2HSb5b"`  
    4. 整个镀膜后的温度要用测温纸测一下，以此来判断你IBS的energy是否合理
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    离线ouyuu
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    只看该作者 11楼 发表于: 2021-02-11
    TiO2和SiO2薄膜应力的产生机理及实验探索.zip (144 K) 下载次数:67 :Z|lGH =  
    i1RU5IRy|j  
    膜裂一般是由应力产生的，一般来讲，张力会造成膜裂。 +!9&E{pmo  
    而在常温下，SiO2表现为张力，TiO2表现为压力。 m~Q]#r  
    所以按原理来讲，第一层镀TiO2对膜裂的改善会比较好。 MkJ}dncg*  
    w5uOi}T\  
    而且从附件论文的数据来看，开IAD比不开要好。 Wlm%W>%  
    yGl (QLk  
    但是如果膜裂是由吸水造成的，那又是另外一种情况。 -kY7~yS7  
    最好用卤素灯加热一下，镀膜前再离子源打一下做一下表面的清洁。 (3YqM7cqt  
    只要不超过90度是没什么问题的。
    [ 此帖被ouyuu在2021-02-11 15:31重新编辑 ]
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    离线chenfadi
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    只看该作者 12楼 发表于: 2021-11-08
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