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    [求助]请教：离子辅助蒸发带来的问题。 [复制链接]

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    离线shuangzixing
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    只看该作者 10楼 发表于: 2005-12-22
    我们清洗真空室都把护板.工转盘.修正板基本上把里面的东西都拿下了用细砂打过.再用乙醚擦拭
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    离线flyinlove79
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    只看该作者 11楼 发表于: 2005-12-22
    哈哈，我在西安呢，有时间过来玩啊
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    离线imute
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    只看该作者 12楼 发表于: 2005-12-26
    西安也是藏龙窝虎之地呀！有机会一定去拜访，倒是版主可别说不认识我呀
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    离线zhwp-80
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    只看该作者 13楼 发表于: 2006-01-05
    直接把护皮取下来，在水里用砂纸打磨，别的地方就直接用砂纸打磨，再用布和酒精擦拭
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    离线wangchao04
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    只看该作者 14楼 发表于: 2006-09-12
    是离子源脏   清洗离子源   不用离子源没问题 应该不是真空室脏
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    离线chaliek
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    只看该作者 15楼 发表于: 2006-09-14
    不清楚你的偏压用的是多少？适当的增加偏压可能会有所改善，不妨试一下!
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    离线msy
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    只看该作者 16楼 发表于: 2006-10-02
    其实像离子辅助蒸发基板有很多点,我们俗称微尘,除了和洁净度、真空度、返油、烘烤温度以外,我想还有可能与你机器设置有关系了,你镀膜机是什么牌子的,在镀膜时候需要冲氧气\还是氩气,还有你的膜料,保存是否完好?最好膜料放在干燥柜里面!
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    离线ddm
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    只看该作者 17楼 发表于: 2006-10-05
    作镀膜需要的是细心 , 清机很多小地方都不能遗漏 .
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    离线vacuumtech
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    只看该作者 18楼 发表于: 2006-10-15
    不懂但下来，学习学习
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    离线雪纷飞
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    只看该作者 19楼 发表于: 2006-10-31
    这个应该就是工艺问题了，以前记得在哪里也见到过这个问题，后来不知道他们怎么解决的，洁净度、真空度、返油、烘烤温度等都有可能。
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