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    几何光学和光学设计 [复制链接]

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    只看该作者 60楼 发表于: 2005-12-12
    GLV器件利用MEMS技术在硅晶圆上制成。基本结构是条状结构组成的器件单元,器件单元一般由偶数个平行条状结构组成,条状结构的大小可以根据设计需要进行调整。
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    只看该作者 61楼 发表于: 2005-12-12
    典型设计单元由6个条带状结构组成,每条宽3mm、长100mm,厚约100nm,条状结构两端有两个支撑点,中间则悬浮在一个很薄的空气层上(约650nm厚)。
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    只看该作者 62楼 发表于: 2005-12-12
    条状结构采用氮化硅(Si3N4)材料制作,提供较高的张力和耐用性,结构表面镀铝,可提高反射率和导电性,结构下部表面作为共用电极。在器件单元的6个条状结构中,通过对3个可动条施加一定电压,在静电力的作用下上下移动。
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    只看该作者 63楼 发表于: 2005-12-12
    在不加电压的情况下,可动条不会下移,处于绷紧状态,整个单元的中部形成一个平坦表面,此时GLV器件单元处于完全反射状态。
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    只看该作者 64楼 发表于: 2005-12-12
    当在可动条和衬底间施加电压时,静电吸引力使三个交替相间的可动条向下移动,单元表面成为一个相位光栅,如图2所示,此时GLV器件单元处于衍射状态。
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    只看该作者 65楼 发表于: 2005-12-12
    在衍射状态下,固定条和可动条反射出来的光波前之间产生相位差,光栅在θ角度产生衍射峰:
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    只看该作者 66楼 发表于: 2005-12-12
    由于GLV器件是采用标准CMOS工艺制造的,因此容易集成相关的驱动和外围电路。另外,单块晶圆上可以制造出多个器件,从而在大批量生产时,具有成本优势。
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    只看该作者 67楼 发表于: 2005-12-12
    静电吸引力以及可动条材料本身提供的张力为垂直位移提供了平衡。由于空气间隔很小,而静电吸引力与间隔的平方成反比,因此静电吸引力非常强。又因为可动条的质量小,因此其动作速度非常快(约为20ns)。
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    只看该作者 68楼 发表于: 2005-12-12
    我们将结合具体应用进一步详细地讨论这些优点。GLV器件目前已经和正在开发的应用主要集中在投影显示、印刷(包括打印)设备和光电通信方面。
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    只看该作者 69楼 发表于: 2005-12-12
    投影机应用 g(F*Y> hk  
    根据前面的介绍,我们可以看到,GLV器件的每个单元可独立对入射光进行调制,因此可在投影显示应用中控制一个像素。