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    [分享]离子辅助镀膜技术在优质高产的镀膜系统中的应用 [复制链接]

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    离线qasy
    技术员
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2007-08-15
    摘要： 大规模生产高质量薄膜产品是今后镀膜设备需要解决的问题。等离子体或离子辅助镀膜现在被广泛应用于高质量膜系生产中并取得了良好的效果，但是主要由于等离子体或离子源的原因，产能不高。本文介绍了一种新型精密光学镀膜系统和一种新型溅射镀膜系统。新的系统能够优质高效地生产复杂膜系，特别适合大规模生产。 634OH*6  
    #ET y#jKL  
    关键词：等离子辅助沉积，溅射镀膜，光学镀膜
    描述:给大家点好东东！
    附件: 2006411143772814.rar (348 K) 下载次数:156
    共1条评分
    cyqdesign 金钱 +3 - 2007-08-15
     
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    离线cswmsc
    实习生
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    只看该作者 1楼 发表于: 2007-08-16
    谢谢，咋没人顶啊？
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    离线lilylyl
    实习生
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    只看该作者 2楼 发表于: 2007-08-18
    qasy  的这个文章很好。谢谢！ QOR92}yC  
      刚看了一下文章内容，等离子辅助镀膜技术似乎很好，但是在制备高品质低损耗镜片方面，我比较认可VEECO公司的射频源离子溅射技术，后者在精确控制方面、设备稳定，漂移小。在磨蹭微观结构方面致密性更好。 : i{tqY%  
      不知其他同仁有没有看法？
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    离线0243001243
    实习生
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    只看该作者 3楼 发表于: 2007-08-23
    看看再说咯
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    离线wym87
    助理工程师
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    只看该作者 4楼 发表于: 2011-09-03
    多谢楼主！下载了！！！
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    离线wym87
    助理工程师
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    只看该作者 5楼 发表于: 2011-11-14
    不错的资料，祝楼主快乐！Thanks!
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    离线dede
    助理工程师
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    只看该作者 6楼 发表于: 2012-03-23
    这个文章很好
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    离线jefflee1507
    实习生
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    只看该作者 7楼 发表于: 2012-08-17
    THANKS
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    离线罗先生
    实习生
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    只看该作者 8楼 发表于: 2019-12-11
    看看楼主的分享 bk1.H@8  
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