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    [分享]WLO(晶圆级光学)的各种工序 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 02-26
    关键词: 晶圆工序WLO
    WLO(晶圆光学)的各种工序 p&L`C |0  
    首先,通过透镜成型工艺(图1),在上下的模具(微透镜阵列的模具)之间设置树脂。 ^xGdRa U#  
    接着,通过固化工艺(图2),使树脂通过热固化或UV固化而固化。 ,&sBa{0  
    接着,通过脱模工艺(图3),卸下模具,将作为固化树脂的微透镜阵列取出。这里,微透镜阵列构成微透镜呈平面状或二维状展开的平面微光学元件 &zF1&J58z  
    接着,通过粘合工艺(图4),利用粘接剂将多个(两片以上)的微透镜阵列粘合,制作微透镜阵列层叠体(参照图5)。在该粘合工艺中,以往以点状(spot)粘接方式进行了粘合,但在本实用新型中,利用粘接片以面状粘接方式进行粘合。 2EOt.4cP  
    接着,通过切割装置对微透镜阵列层叠体实施切割工艺(图5),切分为每个透镜的芯片状的透镜模块。作为切割装置,使用了利用激光实施切割的装置或者利用刀片实施切割的装置。将多种透镜模块粘合而形成透镜层叠体,制作在透镜层叠体的底部配置有图像传感器相机型光学设备。
     
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    只看该作者 1楼 发表于: 03-24
    WLO,是英文Wafer Level Optics的缩写,中文名称为晶圆级光学元件,是一种晶圆级镜头制造技术,是通过晶圆封装方式制造光学镜头,是半导体工艺与光学技术相结合的产物。 WLO制造方法是以整片玻璃晶圆为材料,采用半导体工艺,利用压印光刻、UV固化方式,批量复制制作镜头,将多个镜头晶圆压合在一起,再切割成为单颗镜头。 WLO具有尺寸小、高度低、一致性好等特点。