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    [论文]微光学机电系统的发展和应用 [复制链接]

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    离线hello2024
    助理工程师
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 12-10
    关键词： 微光学
    论述了微光学机电系统（MOEMS）的研究状况和已研制的系统的结构工艺与工作原理，对其发展和应用前景进行讨论。
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    cyqdesign 光币 +5 - 12-10
     
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