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o<\uHr3 内容简介 VfFXH,j Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 T {![a{ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 CI8bHY$ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 Mhwuh`v% x("V+y* 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 |Nf90.dL 目录 q+J;^u"E Preface 1 x^959QO~ 内容简介 2 ->u}b?aF 目录 i k^i\<@v 1 引言 1 />13?o# 2 光学薄膜基础 2 N!Cy)HnS\w 2.1 一般规则 2 YD@n8?~$$ 2.2 正交入射规则 3 !5VT[w
1 2.3 斜入射规则 6 jqJ't)N 2.4 精确计算 7 QIWfGVc- 2.5 相干性 8 TGSkJ 1Lx 2.6 参考文献 10 ^77Q4"{W 3 Essential Macleod的快速预览 10 Z'cL"n\9R] 4 Essential Macleod的特点 32 N,0&xg3 4.1 容量和局限性 33 GU,ztO.w3 4.2 程序在哪里? 33 vFx0B? 4.3 数据文件 35 1:j[p=Q& 4.4 设计规则 35 ] v8 .ym 4.5 材料数据库和资料库 37 Q|]
9 4.5.1材料损失 38 h3YWqSj 4.5.1材料数据库和导入材料 39 aBblP8)8;K 4.5.2 材料库 41 M\!z='Fi 4.5.3导出材料数据 43 ~6!TMVr 4.6 常用单位 43 J};=)xLX; 4.7 插值和外推法 46 Ty5}5)CRZ 4.8 材料数据的平滑 50 8w\ZY>d 4.9 更多光学常数模型 54 of<(4<T 4.10 文档的一般编辑规则 55 Ni
Y.OwKr 4.11 撤销和重做 56 $8;`6o` 4.12 设计文档 57 @ r G=>??k 4.10.1 公式 58 \ 0J&^C 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
rsPo~nA 4.10.3 沉积密度 59 `;v5o4.` 4.10.4 平行和楔形介质 60 B4kJ 7Pdny 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 i!7|YAu 4.10.4 性能 61 YacLYo# 4.10.5 保存设计和性能 64 EL gq#z 4.10.6 默认设计 64 )oCb9K:km 4.11 图表 64 ]dU/;8/% 4.11.1 合并曲线图 67 '(-SuaH49 4.11.2 自适应绘制 68 'p> *4} 4.11.3 动态绘图 68 FI=]K8 4.11.4 3D绘图 69 =&-+{txs 4.12 导入和导出 73 NA-)7i*>J 4.12.1 剪贴板 73 3OvQ,^[J4 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 IM 8lA 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 6JUjT]S% 4.13 背景 77 n/vKxtW 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 Cj3C%W 4.15 生成Rugate 84 ~Kll. 4.16 参考文献 91 p`mNy
o' 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
6Sr}I,DG 5.1 Jobs 92 f~-Ipq;F 5.2 创建一个新Job(工作) 93 fKQq]&~
H 5.3 输入材料 94 &
G8tb>q<V 5.4 设计数据文件夹 95 Nt/#Qu2#br 5.5 默认设计 95 #57D10j 6 细化和合成 97 0hoi=W6AQ 6.1 优化介绍 97 $9Pscu bM4 6.2 细化 (Refinement) 98 J<27w3bs~p 6.3 合成 (Synthesis) 100 jFPD SR5 6.4 目标和评价函数 101 j" ~gEGfK 6.4.1 目标输入 102 m0[JiwPI 6.4.2 目标 103 d"~-D; 6.4.3 特殊的评价函数 104 o3kVcX^ 6.5 层锁定和连接 104 }MCJ$=5 6.6 细化技术 104 %D
$+Z( 6.6.1 单纯形 105 ,#blY~h8^ 6.6.1.1 单纯形参数 106 p0b MgP 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 xa]e9u% 6.6.2.1 Optimac参数 108 $5v:z 6.6.3 模拟退火算法 109 1_V',0|`> 6.6.3.1 模拟退火参数 109 m{{8#@g 6.6.4 共轭梯度 111 (n
{,R 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 ~Jlo> 6.6.5 拟牛顿法 112 04}" n 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 2PVtyV3; 6.6.6 针合成 113 p&Ev"xhs 6.6.6.1 针合成参数 114 uX8yS|= * 6.6.7 差分进化 114 Lcow2 SbH 6.6.8非局部细化 115 ReZ&SNJ 6.6.8.1非局部细化参数 115 V0)F/qY 6.7 我应该使用哪种技术? 116
r]lPXj(` 6.7.1 细化 116 WB(Gx_o3 6.7.2 合成 117 2/4,iu(T`c 6.8 参考文献 117 #dEMjD 7 导纳图及其他工具 118 ML-?#jNa< 7.1 简介 118 CF0i72ul5 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 l?J|Ip2W 7.2.1 四分之一波长规则 119 8AQ@?\Rc"2 7.2.2 导纳图 120 vzPuk|q3 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 ON
q =b I* 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 b9cY 7.5 斜入射导纳图 141 MbJ|6g99 7.6 对称周期 141 Z`{ZV5 7.7 参考文献 142 X|wg7>kh*` 8 典型的镀膜实例 143 o|O|e9m( 8.1 单层抗反射薄膜 145 p"ElO,\ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 ,p7W4;?4 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 2Pz)vnV" 8.4 W-膜层 148 2uy<wJE> 8.5 V-膜层 149 +204.Yj?D 8.6 V-膜层高折射基底 150 A$;"9F@ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 }[c,/NH 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 -FrNk> 8.9 四层抗反射薄膜 153 nLc Oz3h 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 9Atnnx]n 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 5ON\Ve_H 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 .sE5QRVc 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 Z@d(0 z 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 Qqn9nO9 8.15十五层宽带抗反射膜 159 Z(0sMOaX 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 4ht+u 8.17 1/4波长堆栈 162 3qNLosm#M 8.18 陷波滤波器 163 7v{s?h->$ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 TeXt'G=M 8.20 褶皱 165 GRq0nhJ 8.21 消偏振分光器1 169 KCc7u8
8.22 消偏振分光器2 171 zc#$hIi 8.23 消偏振立体分光器 172 " _{o}8L 8.24 消偏振截止滤光片 173 d@aPhzLu 8.25 立体偏振分束器1 174 "B"Yfg[ 8.26 立方偏振分束器2 177 8\])p sb9 8.27 相位延迟器 178 T**v!Ls 8.28 红外截止器 179 `Eq~W@';Q0 8.29 21层长波带通滤波器 180 ?Ja&LNI9S 8.30 49层长波带通滤波器 181 w0(1o_F7. 8.31 55层短波带通滤波器 182 `+?g96 8.32 47 红外截止器 183 $7
FT0?kG 8.33 宽带通滤波器 184 ;(I')[R" 8.34 诱导透射滤波器 186 M>LgEc-v67 8.35 诱导透射滤波器2 188 5i|DJ6 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 r< ~pSj 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 \#O}K 8.35 增益平坦滤波器 193 tQSJ"Q 8.38 啁啾反射镜 1 196 j,@@[{tu 8.39 啁啾反射镜2 198 6xq/ 8.40 啁啾反射镜3 199 R m^$Dn 8.41 带保护层的铝膜层 200 waRK$/b
( 8.42 增加铝反射率膜 201 *s1^s;LR 8.43 参考文献 202 _j Ck)3KO 9 多层膜 204 |b^+=
" 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 #ssSs]zl 9.2 内部透过率 204 \:vHB! 2E 9.3 内部透射率数据 205 {.mPe| 9.4 实例 206 q47:kB{d 9.5 实例2 210 1
|T{RY5 9.6 圆锥和带宽计算 212 !${7 )=|=1 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 14Y<-OO:
k 10 光学薄膜的颜色 216 s.]<r5v7 10.1 导言 216 O~~WP*N 10.2 色彩 216 MIF`|3$, 10.3 主波长和纯度 220 Z\. n6 10.4 色相和纯度 221 &'KJh+jJ
10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ckhU@C|=* 10.6 色差 226 NcMohpkq 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 x4=Sm0Ro|V 10.8 颜色渲染指数 234 lo< t5~GQ 10.9 色差计算 235 2/F";tc\' 10.10 参考文献 236 aTL u7C\-e 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ZlG|U]mM5 11.1 短脉冲 238 l\t\DX"s_ 11.2 群速度 239 VxA?LS` 11.3 群速度色散 241 qr<RMs 11.4 啁啾(chirped) 245 nkTpUbS'f? 11.5 光学薄膜—相变 245 lC8Z@wkjO 11.6 群延迟和延迟色散 246 4-vo R5Fd 11.7 色度色散 246 X"Ca 11.8 色散补偿 249 e !2SO*O 11.9 空间光线偏移 256 7H!/et?S, 11.10 参考文献 258 T
j(MIFi|5 12 公差与误差 260 ;U)xZ _Ew~ 12.1 蒙特卡罗模型 260 'nRoa7v( 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 {a9(
Qi 12.2.1 误差工具 267 0Fc^c[ 12.2.2 灵敏度工具 271 1Xn:B_pP 12.2.2.1 独立灵敏度 271 0(|Yy/Yq 12.2.2.2 灵敏度分布 275 o|G[/o2 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 B9(@. 12.3 参考文献 276 oT0TbZu% 13 Runsheet 与Simulator 277 ?[VL
2dP0 13.1 原理介绍 277 OUFx M 13.2 截止滤光片设计 277 @
Cd#\D| 14 光学常数提取 289 q"9 2][} 14.1 介绍 289 X 7R&>Pf 14.2 电介质薄膜 289 %iR"eEE 14.3 n 和k 的提取工具 295 +oev NM 14.4 基底的参数提取 302 Kg6[ 14.5 金属的参数提取 306 N> jQe 14.6 不正确的模型 306 pt$\pQ 14.7 参考文献 311 Q&]f9j_ 15 反演工程 313 |5TzRz 15.1 随机性和系统性 313 G$mAyK: 15.2 常见的系统性问题 314 N3(.7mxo 15.3 单层膜 314 3ZUME\U 15.4 多层膜 314 i z%wozf 15.5 含义 319 <q.Q,_cW 15.6 反演工程实例 319 9T#${NK 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 8vqx}2 15.6.2 反演工程提取折射率 327 .L@gq/x) 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 z3Zo64V~7 16.1 光学性质的热致偏移 329 g^:
&Dh 16.2 应力工具 335 zvbO
q 16.3 均匀性误差 339 G_]zymXQ 16.3.1 圆锥工具 339 Ji)Ys
ebV 16.3.2 波前问题 341 b[KZJLZ) 16.4 参考文献 343 %zz,qs)Eu 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 ZA+w7S3 17.1 引言 345 "IN[( 17.2 操作数 345 ~JQ6V?fucD 18 如何在Function中编写脚本 351 Bwl@Muw 18.1 简介 351 %jJ|4\ 18.2 什么是脚本? 351 D/YMovH% 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 fSF_O}kLp 18.4 基础 352 #w@V!o 18.4.1 Classes(类别) 352 PH$C."Vv 18.4.2 对象 352 )uu(I5St 18.4.3 信息(Messages) 352 =}g-N)^ 18.4.4 属性 352 QpD-%gN 18.4.5 方法 353 H~
E<ek'~ 18.4.6 变量声明 353 NHiac(&* 18.5 创建对象 354 xn=#4:f 18.5.1 创建对象函数 355 bH.SUd) 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 \q@Co42n\ 18.5.3 丢弃对象 356 0bG#'.- 18.5.4 总结 356 C#LTF-$]) 18.6 脚本中的表格 357 '*B%&QC- 18.6.1 方法1 357 [vqf hpz 18.6.2 方法2 357 ^r~O* 18.7 2D Plots in Scripts 358 v{SZ(; 18.8 3D Plots in Scripts 359 c] - 18.9 注释 360 0`V;;w8 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 zygH-3C7o 18.11 一个更高级的脚本 362 2]]}Xvx4# 18.12 <esc>键 364 2<9&OL 18.13 包含文件 365 3Cgv($xl& 18.14 脚本被优化调用 366 q|V|Jl 18.15 脚本中的对话框 368 =o4gW`\z 18.15.1 介绍 368 WjguM 18.15.2 消息框-MsgBox 368 I?RUVs 18.15.3 输入框函数 370 d uP0US 18.15.4 自定义对话框 371 K@%gvLa\ 18.15.5 对话框编辑器 371 fV2w &:^3 18.15.6 控制对话框 377 RzU9]e 18.15.7 更高级的对话框 380 }
m"':f 18.16 Types语句 384 R^B8** N 18.17 打开文件 385 7g$*K0m` 18.18 Bags 387 10Q!-K),p 18.13 进一步研究 388 l9e=dV:pH 19 vStack 389 eA*We 19.1 vStack基本原理 389 fr'DV/T 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 b;FaTm@ 19.3 五棱镜 393 :k-@w5( 19.4 光束距离 396 ;d<O/y,:4 19.5 误差 399 SAiaC _ 19.6 二向分色棱镜 399 jvxCCYXR 19.7 偏振泄漏 404 0{
_6le] 19.8 波前误差—相位 405 |ZC'a! 19.9 其它计算参数 405 +IMt$}7[ 20 报表生成器 406 fR?'HsQg 20.1 入门 406 k< |