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摘要 hub1rY|No LNmsv U 对于背光系统、光内连器和近眼显示器等许多应用来说,将光高效地耦合到引导结构中是一个重要的问题。对于这种应用,倾斜光栅以能够高效地耦合单色光而闻名。在本例中,提出了利用严格傅里叶模态方法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅的优化方法。优化后的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了其对光栅的倾角偏差和圆角边缘的影响。 3(Kj|u RAxAy{ U<|kA(5 B8NOPbT 建模任务 H1N_ Xhe2 5 )zkk%mE/IM R;,+0r^i 优化 &Y;z[+(P ;]3Tuq ( ?3 )l 'KMyaEh.u 为了为倾斜光栅找到一组优化的参数,优化文档允许为目标值定义参数约束和权重值。更多信息请参见: ~v$gk {x40W0 参数优化文档的介绍 ^|5bK_Z& y+\nj3v6 第一级次的参数优化 'oBT*aL &ok2Xw `So*\#\T i=#<0! m 结果——公差分析 EtK,C~C}8 /!rH DcR }bz v&k
#lRkp.e MYFRrcu; VirtualLab Fusion技术 7 [N1Vr(1 \74+ cN @ {\q1J>
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