光栅是
光学工程师使用的最基本的工具。为了设计和分析这类组件,快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion为用户提供了许多有用的工具。其中包括
参数优化,以轻松优化
系统,以及参数运行,它允许您执行参数扫描,以研究这些参数对设置的总体效果的影响。此外,还可以用于详细研究具体制造过程中的偏差引入的影响。不同的求解器也可以供您使用来
模拟场与光栅的相互作用,具有不同的假设和相应的近似水平。这些方法的范围从严格的傅里叶模态法(FMM)到适用于具有浅浮雕大型
结构的薄元近似法(TEA)。
P]@m0f 薄元素近似法(TEA)对比傅里叶模态法(FMM)进行光栅建模 jK^'s6i#
\=yx~c_$L %:eepG| 研究了两种常用但
原理不同的分析光栅
衍射效率的算法: TEA和FMM(也称为RCWA)。比较了不同周期的两种类型的光栅(正弦和闪耀)结果。
@,63% 倾斜光栅的参数优化及公差分析 "gD)Uis
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N 8 以傅里叶模态法(FMM)作为参数优化的核心,设计了一个倾斜光栅来实现高衍射效率将光耦合到光波导中的目的。此外,还分析了包括圆角边缘在内的制造公差。