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摘要 -q*i_r:, \ioH\9 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 9o+)?1\ 0:T|S>FsAm 2K3{hxB ' hs2RSq 1. 建模任务 TTKs3iTXz I= &stsH *3?'4"B{8 3nhXZOO1 2. 结果 hy`?E6=9+ 'JRvP!] ?W)A |g//g\dd H(Z88.OM ;NHt7p8SE
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