[技术]GLAD：光刻成像系统的建模 [复制链接]

概述 O(c4iWm  
该系统由一个聚光镜、一个倾斜球体和一个Schwartzchild设计的中继镜组成。光源被成像到中继镜的光瞳中。光束在物体掩模处会聚，在中继透镜的光瞳处形成点像。在中继透镜的瞳孔处，多条条纹图案将形成一个中心波瓣和侧波瓣。如下图所示： -Y!=Iw 4  
5jj57j"  
 掩模上的条形图案在中继瞳孔中产生旁瓣 p!rGPyGC  
 窄条产生宽的旁瓣，仅部分通过中继入口瞳孔 ^YB\\a9  
 宽条产生较窄的旁瓣，更容易通过中继入口瞳孔 Ay[9k=q]  
 部分通过旁瓣会产生部分解析 Cbf,X[u  
E`sapk  
系统描述 0lJBtk9wn  
e-T9HM&%P  
本例介绍了如何采用全局衍射分析对部分相干进行建模。如上图所示，整体装置是一个科勒照明系统，其中有一个聚光元件能够将非相干光源的光进入转像透镜的孔径中。在一个经典的科勒照明系统中，点光源通过一个聚光镜成像在转像系统的光瞳中。光源照亮物体掩膜面，并在最后的成像面上得到适当的放大。为了对光束合理采样，光源放在物的共轭点处，这样在光源面上，点光源将是有一定维度的，而不是像理想点光源那样，会引起混沌。对一个具有一定尺寸的光源，它所成的像就是部分相干的。如果光源足够大，大到可以填满转像透镜的孔径的话，所成的像将是非相干的。 O7L6Htya  
#q^>qX y  
模拟结果 *SAcH_I2$>  
m-pIFL<^N  
三栅条图样的部分相干成像 g'l7Jr3  
   E!(`275s  
两组七栅条图样建模对比 JqH.QnKcv