切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • ZEMAX光学系统设计实战 Zemax光学设计从基础到实践 成像衍射光学元件设计及应用 现代光学与光子学技术
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    123
    • 11936阅读
    • 22回复

    [讨论]离子源充氧与充氩有何分别？ [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线ken_jinyan1
    技术员
    发帖
    232
    光币
    48
    光券
    0
    只看该作者 10楼 发表于: 2013-01-28
    我们公司的GENER1300  配的是霍尔的离子源。厂家调试的时候用的是O2， fp:j~a>E  
    说的是氧气和氩气都是一样的。  氧气流量50， 氩气流量30SCCM，我想问一下 FJ!N)`[  
    离子源对膜料折射率是否有影响。
    回复
    举报
    离线alex_xie
    实习生
    发帖
    35
    光币
    20
    光券
    0
    只看该作者 11楼 发表于: 2013-01-30
    使用氩气，镀出来的膜层致密性会好一点，可以氧气氩气一起用
    回复
    举报
    离线flyinlove79
    论坛版主
    发帖
    571
    光币
    10364
    光券
    0
    只看该作者 12楼 发表于: 2013-02-02
    热心助人，鼓励！
    回复
    举报
    离线ken_jinyan1
    技术员
    发帖
    232
    光币
    48
    光券
    0
    只看该作者 13楼 发表于: 2013-02-19
    但是厂家的工程师和我说MGF2不能用离子源，不知道原因。 :uu\q7@'  
    如果不能用的话，还怎么冷镀膜呢？
    回复
    举报
    离线a060103112
    实习生
    发帖
    115
    光币
    32
    光券
    0
    只看该作者 14楼 发表于: 2013-02-27
    回 jiayuch 的帖子
    jiayuch:如果镀得是氟化镁  就用氩气吗 (2007-04-22 16:21)  nITr5$f  
    YRW<n9=3  
    氟化镁一般不用离子源，只有偶尔冷镀用，就只加少量氩气
    回复
    举报
    离线爱哭的云彩
    技术员
    发帖
    252
    光币
    81
    光券
    0
    只看该作者 15楼 发表于: 2017-08-09
    回 j123456789 的帖子
    j123456789:离子源充氧后会产生氧原子和氧离子，它们具有极其强的活性，作为氧化物膜沉积时的辅助，不仅能提高膜层的密度，还能改善其吸收！但，其会降低离子源的寿命！！充氩仅能提高膜层的密度，同时离子源的寿命会相对长！ (2007-04-15 15:49)  u^!-Z)W  
    ]7h&ZF  
    好有用
    回复
    举报
    离线爱哭的云彩
    技术员
    发帖
    252
    光币
    81
    光券
    0
    只看该作者 16楼 发表于: 2017-08-09
    回 a060103112 的帖子
    a060103112:氟化镁一般不用离子源，只有偶尔冷镀用，就只加少量氩气 (2013-02-27 11:32)  Vj~R6   
    pX6OhwkTK  
    原来是这样呀
    回复
    举报
    离线pyykun
    助理工程师
    发帖
    486
    光币
    11
    光券
    0
    只看该作者 17楼 发表于: 2018-02-27
    谢谢大神们！！！
    回复
    举报
    离线dcfcwdx
    实习生
    发帖
    145
    光币
    12
    光券
    0
    只看该作者 18楼 发表于: 2018-03-03
    受教了
    回复
    举报
    离线yedewang
    实习生
    发帖
    13
    光币
    17
    光券
    0
    只看该作者 19楼 发表于: 2018-05-08
    非常有用
    回复
    举报
    发帖 回复
    返回列表
    123