前言
<:W]u T 微纳
光学是当前光学学科发展最活跃的前沿之一,结合了光子学与纳米技术的前沿成果,主要优点是能在局域电磁相互作用的基础上实现许多全新的功能,成为21世纪不可或缺的关键科学和技术。微纳光学不仅是光学领域的前沿研究方向之一,也是目前新型光电子产业的重要发展方向,在光通信、光互联、光存储、传感成像、传感测量、显示、固体
照明、生物医学、安全、绿色能源等领域起到不可替代的作用。在这些广泛的应用领域可以使用
JCMsuite进行模拟分析与设计,大大降低时间成本和物料成本。
WXp=>P[ JCMsuite是基于有限元方法(FEM)的一款纳米光学软件包。使用有限元方法(FEM)计算复杂纳米
光学系统中电磁场分布,为解决科学和技术挑战提供了一种通用、严格且非常快速的方法。JCMsuite可以解决时谐麦克斯韦方程组的光散射问题、波导设计问题和光学共振问题,以及线性弹性问题、热传导问题以及这些类型的任何耦合问题。
:\NqGS=< 通过JCMsuite,用户可以定义各种材料特性,例如复杂和各向异性的材料的介电常数和磁导率张量、分散特性、导热率和刚度。软件依赖基于残差的误差估计,自动选择各种数值设置,例如有限元度和PML(完全匹配层)设置。同时也特别关注光学上所有必要的后期处理和有效计算,例如傅立叶变换、远场、能量通量、重叠积分、光学成像、共振扩展和赛尔因子。
7,d^?.~S 本书详细介绍了JCMsuite各个应用领域的实操案例。本书共十一章,分别介绍了不同应用领域的案例介绍,包含
激光、掩模、散射测量、椭偏仪、光伏发电、表面等离子体、
光纤、光学手性、衍射光学元件以及光子晶体。每个案例都涵盖了建模流程,从材料定义、布局定义、
光源定义到项目定义整个过程,旨在帮助JCMsuite初学者通过案例快速学会软件。本书主要参考JCMwave公司发布的案例翻译整理而成。
@AvXBMq| 《JCMsuite案例指导书籍》,是由上海讯技光电工程部成员翻译整理而来,译者希望本书能对JCMsuite的使用者有所帮助,通过学习后能较好的掌握JCMsuite软件的基本使用方法。由于译者水平有限,书中错误纰漏之处,敬请同行读者批评和指正。
z%Op_Ddp TSt-#c4B 讯技光电科技(有限)公司
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OM 2022年2月 上海
-ytSS:|%\ Yc3r3Jy 目录
tY C`?HT 1.光源部分—引言 3
ZsirX~W< 1.1垂直腔面发射
激光器 3
|qE"60&"} 1.2高功率二极管激光器 7
K8$Hg:Ky-/ 1.3量子点发射器 12
xC9^x7%3O 1.3.1微米柱 12
8 *;G\$+ 1.3.1.1旋转对称发射器 14
6+_)(+c 1.3.2微
透镜 18
7v}4 Pl,$4 1.3.2.1耦合至光纤 20
43W>4fsc 1.3.3二维模型 22
?C(Z\"IX 2.光掩模 23
yK+76\} I 2.1衰减相移掩模 24
xAMj 16ZF 2.1.1降基法 26
5@" bx= 2.2独立的接触孔 33
5r.\maW 2.3 EUV掩模 37
g^26Gb. 2.4光学成像 42
w;vp X> 3.散射测量 43
0|nvi=4~e| 3.1硅通孔技术 43
g2l|NI#c^ 4.椭偏仪 48
N#Bg`:! 4.1 块状材料 48
w1F7gd 5.光伏发电 51
`<zaxO 5.1 薄膜
太阳能电池 51
f&bY=$iff 5.1.1薄膜太阳能电池一维模型 59
j01.`G7Q 6.表面等离子体光学 60
[-f0s;F1% 6.1孤立的狭缝和凹槽 61
'm# -)R! 6.2等离子波导 66
>|KfO> 6.3等离子纳米天线 69
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