[技术]纳米柱阵列超颖表面构建模块的严格分析 [复制链接]

摘要 mIl^  
0D$+WX  
利用先进的制造技术，人们成功实现了具有高数值孔径的可见波长的超透镜。通常使用空间变化的纳米结构作为模块来构建超透镜。在这个例子中分析了用于组成偏振不敏感超透镜的纳米柱状结构。利用傅立叶模态方法（FMM，也称为RCWA），严格计算这种纳米柱的振幅和相位传输。 U/0NN>V  
u8-)LOf(  

图片:1-1Z604162103292.png

2 B5kpmH:  
5vg@zH\z  
建模任务 =We}&80x  
eT:%i"C  

图片:1-1Z604162136335.png

\*d@_oQ$  
I?l*GO+pz  
纳米柱分析vs柱子直径 >{npg2  
Z-]d_Y~m4  

图片:1-1Z6041622011I.png

o` ,&yq.  
So0YvhZ+  
纳米柱分析vs柱子直径 n'%*vdHKm  
pEhWgCL  

图片:1-1Z60416222I95.png

K6!`b( v#  
%)\Cwl   
附录：TiO2的折射率 R1J"QU  
>.J68x  

图片:1-1Z604162255154.png

fN8A'p[  
fs~n{z,ja%  
图表来源于R. C. Devlin, M. Khorasaninejad, W.-T. Chen, J. Oh, F. Capasso, arXiv:1603.02735 (2016) }_5z(7}3
 
/EKfL\3  
VirtualLab Fusion视图 !=q {1\#  
P{rJG '  

图片:1-1Z604162325593.png

VaSw}q/o:/  
49HtI9@  
VirtualLab Fusion工作流程 kc/h
]B  
)p12SGR5  
 构造光栅结构 ^vsOlA(4  
- 使用界面配置光栅结构[用例] AvP*p{w
e  
- 使用特殊介质配置光栅结构[用例] &&JI$x0;  
'HW(RC0dR  
 分析光栅衍射效率 ~g>15b
3  
- 光栅级次分析器[用例] [9aaHf@'  
E62VuX  
 使用参数运行检查特定参数的影响 bLSI\  
- 参数运行文档的用法[用例] P]r"E  
OkA-=M)RI:  
VirtualLab Fusion技术 {TE0  
hiU_r="*ox  

图片:1-1Z60416250D31.png