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    [求助]求助大佬,镀膜出来脏污点多,如何解决? [复制链接]

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    离线a250908282
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-08-16
    离子源清洗和退膜出来都是干净的,但是到镀碳膜后。出来的模具表面都有2到4个点脏污。 *}qWj_RT  
    测试过镀膜500秒以下出来的是很好的,1000秒以上出来基本都有几个点。过滤滤网重新喷砂换过还是如此。真空度偶尔浮动不是马上恢复。抽真空时间很长怀疑真空有问题, 98c(<  
    ](]i 'fE>  
    请问一下造成上面的问题有哪些原因呢。
     
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-08-21
    加  YKWQAZWSX
    离线ouyuu
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    只看该作者 2楼 发表于: 2023-09-01
    麻点原因太多了。 A/$QaB,x  
    1,你的工艺要讲清楚,某些镀膜材料本身容易喷溅,喷溅的时候会有真空波动。 r| wS<cA2  
    2,如果用离子源辅助,中和不足的情况下,会吸附镀膜材料的小颗粒到镀膜伞去。 ;6 D@A  
    3,坩埚某些部位漏(冷却水或者空气都有可能),会造成气流将小颗粒吹到伞上。 QD&`^(X1p  
    4,POLYCOLD化霜太快,会将盘管上的脏物爆到伞上去。 J7$5s  
    你情况说的越具体,得到的答复针对性越高。否则都只能泛泛而谈。