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    [求助]关于ALD镀SiO2薄膜后，薄膜性能如何？ [复制链接]

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    离线lu5253
    实习生
     
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    2
    光币
    10
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-27
    关于ALD镀SiO2薄膜后，薄膜性能如何？例如在电学性能，折射率、消光系数以及镀膜后应力等方面的性能。
     
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