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    [技术]高数值孔径透镜系统中的高级PSF计算 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-08
    成像系统＞高级PSF&MTF ;WJ}zjo >  
    !~04^(  
    任务/系统描述 QOlm#S  
    zHG KPuk'  
     2al%J%  
    Vky~yTL)\  
    亮点 # ,u7lAz  
    upQ:C>S  
     Ah='E$t  
    Hhr/o~?;}#  
     高数值孔径透镜系统的高速2维PSF计算 {\ P$5O{%  
     任意振幅的2维PSF计算 { > {|3  
     不完全照明孔径的2维PSF评价 <oI{:KH  
    7S7gU\qOj  
     Km8btS]n  
    说明：光源 (u@[}!  
    vI{JBWE,S  
    #w*1 !  
     a)MjX<y  
    说明：聚焦透镜 x6* {@J&5*  
    <>A:Oi3^  
    1}tZ,w>  
     :7D&=n)  
    说明：探测器 2JYp.CJv  
    %Xh/16X${  
    _Hl[Fit<j1  
     pAtHU(}  
    结果：3D光线追迹 =2s 5>Oz+  
    1B+MCt4  
     bENfEOf,  
    NOP~?p  
    结果：场追迹 M-K<w(,X  
    }5RfY| ;  
     j.uN`cU!  
    K0@2>nR  
    结果：细化场追迹 |Pz-  
    #57nm]?  
     VFT G3,kI  
     
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