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    [技术]不同轮廓亚波长光栅的成像 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-16
    亚光波长光栅在用傍轴光照射时仅产生一个衍射级，因此在这种情况下不会形成图像。 为了克服此问题，可以使用非傍轴照明。在本例中，高NA聚光透镜被用来为不同轮廓的光栅提供高聚焦照明，衍射场被另一个高NA物镜收集。 VirtualLab可以模拟这种成像过程，包括用傅立叶模态法精确模拟亚波长光栅。 '2/48j X5  
     P[8`]=  
    2. ·建模任务 p/cVQ  
    FX+Ra@I!  
    Kv{i_%j   
    3. 结果 LC*@ /((  
    PD:" SfV,G  
     
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