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    [原创]淀积角随镀膜机几何参数的变化计算 [复制链接]

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    离线shenhan0701
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-12-09
    淀积角随镀膜机几何参数的变化计算 r({!ejT{U  
    计算不同位置处的淀积角大小随DOME的曲率半径、工转架高度、蒸发源距离中心的水平距离等参数而引起的变化 ]3u ErnI  
    rXPq'k'h#-  
    $1y8gm  
    '/trM%<  
    [ 此帖被shenhan0701在2022-12-09 16:30重新编辑 ]
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    fupi1419 光币 +1 优秀文章,支持! 2023-01-09
     
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    离线a013109425
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    只看该作者 1楼 发表于: 2022-12-30
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    离线morningtech
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    只看该作者 2楼 发表于: 2022-12-31
    蒸发角容易计算,考虑进蒸发特性 i\hH .7G1  
    转一圈积分 *AX)QKQ@  
    再以伞架天顶为基准,归一化。就得到厚度均匀性分布了。 uX_A4ht*  
    离线谭健
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    只看该作者 3楼 发表于: 2022-12-31
    学习 不断进步
    离线ouyuu
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    只看该作者 4楼 发表于: 2023-01-06
    这只是理想状态, Q]X0 O10  
    实际上还要受真空度,离子源放气影响的。 g*$ 0G  
    不同电子枪的熔形也不同;熔形不同,材料不同,分布就不同。 ^aVoH/q*C  
    哪怕是同一种材料,不同的蒸发速率,分布也是不一样的。
    离线xiezhizhi
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    只看该作者 5楼 发表于: 2023-02-01
    左边曲线图标表示什么 4@#1G*OO  
    离线kizu123
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    只看该作者 6楼 发表于: 2023-04-07
    学习学习
    离线shunzi130
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    只看该作者 7楼 发表于: 2023-11-09
    只是理论计算,跟电子枪,真空,抽速,温度影响很大
    离线cxb007007
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    只看该作者 8楼 发表于: 2023-11-15
    学习  好资料
    离线comebackz
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    只看该作者 9楼 发表于: 07-31
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