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    [求助]AU镀膜工艺 [复制链接]

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    离线chenliang1990
    实习生
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-10-21
    关键词： 镀膜
    AU镀完后再镀保护层，发现保护层掉膜，请教大神帮忙分析分析是什么问题造成的（镀膜工艺：CR+AU+AL2O3+TI3O5+SIO2）全部冷镀。 ,/g\;#:{@]  
    K*Tvo `  
     
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    离线xiezhizhi
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    只看该作者 1楼 发表于: 2022-10-22
    基底是玻璃吗 +AL2O3 后加热200℃镀后面两层 5i$~1ZC  
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    离线ouyuu
    论坛版主
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    只看该作者 2楼 发表于: 2022-10-29
    应该是温度造成的。钛硅冷镀有应力，200度左右正好可以抵消应力。
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    离线镀膜小白
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    只看该作者 3楼 发表于: 2022-11-08
    我现在也遇到这样的问题，有大佬有解决保护层脱膜问题的方案么？
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    离线wheo2022
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    只看该作者 4楼 发表于: 2022-11-30
    请问是真空蒸镀吗？楼主后来解决了没
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    离线chenliang1990
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    只看该作者 5楼 发表于: 2023-01-07
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:应该是温度造成的。钛硅冷镀有应力，200度左右正好可以抵消应力。 (2022-10-29 12:09)  U*&ZQw  
    YRp\#pVnZ  
    谢谢，已经解决。
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    离线coldking
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    只看该作者 6楼 发表于: 2023-01-08
    回 chenliang1990 的帖子
    chenliang1990:谢谢，已经解决。 (2023-01-07 16:41)  fjWh}w8  
    \9}5}X_x.  
    請問是鍍完AL2O3升溫還是全部鍍完再升溫呢
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    离线xiezhizhi
    技术员
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    只看该作者 7楼 发表于: 04-09
    回 coldking 的帖子
    coldking:請問是鍍完AL2O3升溫還是全部鍍完再升溫呢 (2023-01-08 09:46)  !5OMAWNU@  
    sOxdq"E  
    镀完AL2O3在开加热恒温30分钟在镀后面的 [U(&Ae0V>  
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    离线谭健
    科学家
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    只看该作者 8楼 发表于: 04-09
    楼主后来解决了没
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