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[求助]為什麼SiO2開APC會吸收? [复制链接]

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离线danieltsai06

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只看楼主倒序阅读楼主发表于: 2022-10-13

如題, 離子源氧氣開大也是會吸收, APC打開也會吸收, O2不是會降低吸收嗎?

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离线tearzhou

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只看该作者 1楼发表于: 2022-10-14

此吸收非吸收，气体太多，真空度变差会造成膜层不够致命，SIO2膜层不够致命造成的散射
另一个就是你氧气纯度

离线danieltsai06

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只看该作者 2楼发表于: 2022-10-14

回 tearzhou 的帖子

tearzhou:此吸收非吸收，气体太多，真空度变差会造成膜层不够致命，SIO2膜层不够致命造成的散射 UKdzJEhG
另一个就是你氧气纯度 (2022-10-14 08:40) SqLKF<tY]/

謝謝，終於解惑了。

离线comebackz

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只看该作者 3楼发表于: 2022-11-02

不错........