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    [求助]為什麼SiO2開APC會吸收? [复制链接]

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    离线danieltsai06
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-10-13
    如題, 離子源氧氣開大也是會吸收, APC打開也會吸收, O2不是會降低吸收嗎?
     
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    离线tearzhou
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    只看该作者 1楼 发表于: 2022-10-14
    此吸收非吸收，气体太多，真空度变差会造成膜层不够致命，SIO2膜层不够致命造成的散射 BS.5g<E2q  
    另一个就是你氧气纯度
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    离线danieltsai06
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    只看该作者 2楼 发表于: 2022-10-14
    回 tearzhou 的帖子
    tearzhou:此吸收非吸收，气体太多，真空度变差会造成膜层不够致命，SIO2膜层不够致命造成的散射 m++=FsiX=  
    另一个就是你氧气纯度 (2022-10-14 08:40)  _]zH4o<p  
    sd _DG8V  
    謝謝，終於解惑了。
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    离线comebackz
    实习生
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    只看该作者 3楼 发表于: 2022-11-02
    不错........
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