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微纳光学是当前光学学科发展最活跃的前沿之一,结合了光子学与纳米技术的前沿成果,主要优点是能在局域电磁相互作用的基础上实现许多全新的功能,成为21世纪不可或缺的关键科学和技术。微纳光学不仅是光学领域的前沿研究方向之一,也是目前新型光电子产业的重要发展方向,在光通信、光互联、光存储、传感成像、传感测量、显示、固体照明、生物医学、安全、绿色能源等领域起到不可替代的作用。在这些广泛的应用领域可以使用JCMsuite进行模拟分析与设计,大大降低时间成本和物料成本。 Y1qbu~! JCMsuite是基于有限元方法(FEM)的一款纳米光学软件包。使用有限元方法(FEM)计算复杂纳米光学系统中电磁场分布,为解决科学和技术挑战提供了一种通用、严格且非常快速的方法。JCMsuite可以解决时谐麦克斯韦方程组的光散射问题、波导设计问题和光学共振问题,以及线性弹性问题、热传导问题以及这些类型的任何耦合问题。 k#mL4$]V5N 通过JCMsuite,用户可以定义各种材料特性,例如复杂和各向异性的材料的介电常数和磁导率张量、分散特性、导热率和刚度。软件依赖基于残差的误差估计,自动选择各种数值设置,例如有限元度和PML(完全匹配层)设置。同时也特别关注光学上所有必要的后期处理和有效计算,例如傅立叶变换、远场、能量通量、重叠积分、光学成像、共振扩展和赛尔因子。 <FZ*'F*M 本书详细介绍了JCMsuite各个应用领域的实操案例。本书共十一章,分别介绍了不同应用领域的案例介绍,包含激光、掩模、散射测量、椭偏仪、光伏发电、表面等离子体、光纤、光学手性、衍射光学元件以及光子晶体。每个案例都涵盖了建模流程,从材料定义、布局定义、光源定义到项目定义整个过程,旨在帮助JCMsuite初学者通过案例快速学会软件。本书主要参考JCMwave公司发布的案例翻译整理而成。 o(3OChH 《JCMsuite案例指导书籍》,是由上海讯技光电工程部成员翻译整理而来,译者希望本书能对JCMsuite的使用者有所帮助,通过学习后能较好的掌握JCMsuite软件的基本使用方法。由于译者水平有限,书中错误纰漏之处,敬请同行读者批评和指正。 -I#<?=0B %JA^b5'' 讯技光电科技(有限)公司 2022年2月 上海 i8R2Y9Q*O  Y~lOkH[z 目录 r>"l:GZ 1.光源部分—引言 3 C'sA0O@O 1.1垂直腔面发射激光器 3 nAj +HLO 1.2高功率二极管激光器 7 ({C|(v9C7 1.3量子点发射器 12 #Wv8+&n 1.3.1微米柱 12 jcxeXp|00 1.3.1.1旋转对称发射器 14 f=4q]y#& X 1.3.2微透镜 18 HGj[\kU~ 1.3.2.1耦合至光纤 20 poi39B/Vt 1.3.3二维模型 22 kCoEdQ_ 2.光掩模 23 \[B#dw# 2.1衰减相移掩模 24 i(q a'* 2.1.1降基法 26 F22]4DLHO 2.2独立的接触孔 33 3%N!omAe 2.3 EUV掩模 37 "!Hm.^1 2.4光学成像 42 ET6}V"UD 3.散射测量 43 `n e9&+ 3.1硅通孔技术 43 Y#U0g|UDn 4.椭偏仪 48 8..g\ZT 4.1 块状材料 48
?U~`'^@ 5.光伏发电 51 Nb>C5TjR 5.1 薄膜太阳能电池 51 a)/ }T 5.1.1薄膜太阳能电池一维模型 59 +/#Lm#*nu% 6.表面等离子体光学 60 DwXSlsN3v 6.1孤立的狭缝和凹槽 61 Rd1I$| Y 6.2等离子波导 66 $*+UX
6.3等离子纳米天线 69 @iYr<>iDZ 6.3.1共振扩张 71 M8FC-zFs 7.光纤 72 PV/ hnVUl 7.1单模光纤 72 \e?w8R.6w^ 7.2折射率渐变光纤 74 S%Z2J)H" 7.3弯曲单模光纤 77 KKw J=za 7.4光子晶体光纤 78 F4&`0y: 7.4.1空心光子晶体光纤 78 ~t.i;eu 7.4.1.1核心模式过滤 80 5jc y*G}[ 7.4.1.2扭曲式光子晶体光纤 82 `g(r.`t^ 7.4.2多核光子晶体光纤 82 $-mwr,i 7.4.2.1减少计算域问题 84 qI1JM = 8.光学手性 85 ;J?zD9 8.1孤立散射体 85 ItQ3|-^ 8.2四分之一波片 88 vnv:YQV/ir 9.散射光学元件 90 io4/M<6< 9.1光栅 91 hKQg:30< 9.1.1线栅 92 !O/(._YB` 9.1.2闪耀光栅 95 9Jf.Ls 9.1.3方形晶胞 97 }& e#b]&:* 9.1.4六方晶胞 99 *W1:AGpz 9.2孤立线栅 101 Hl*/s 9.3光阑 104 zT _[pa)O` 9.4狭缝 106 roWg~U(S 9.5十字交叉结构 109 Ap%tm)@1 9.6 纳米球 110 aK'%E3!~=x 10.硅光子 117 qMmhmH)Gp 10.1脊形波导 117 .!h`(>+@ 10.2环形谐振腔 119 2c8e:Xgv 10.3光子晶体谐振腔 124 {
daEKac5 11.光子晶体 126 h#I]gHQK 11.1光子晶体谐振腔 126 fGDjX!3-S 11.2光子晶体光纤 128 :g"UG0]; 11.3一维光子晶体 128 xw83dQ]}^
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