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微纳光学是当前光学学科发展最活跃的前沿之一,结合了光子学与纳米技术的前沿成果,主要优点是能在局域电磁相互作用的基础上实现许多全新的功能,成为21世纪不可或缺的关键科学和技术。微纳光学不仅是光学领域的前沿研究方向之一,也是目前新型光电子产业的重要发展方向,在光通信、光互联、光存储、传感成像、传感测量、显示、固体照明、生物医学、安全、绿色能源等领域起到不可替代的作用。在这些广泛的应用领域可以使用JCMsuite进行模拟分析与设计,大大降低时间成本和物料成本。 ?BEO(;' JCMsuite是基于有限元方法(FEM)的一款纳米光学软件包。使用有限元方法(FEM)计算复杂纳米光学系统中电磁场分布,为解决科学和技术挑战提供了一种通用、严格且非常快速的方法。JCMsuite可以解决时谐麦克斯韦方程组的光散射问题、波导设计问题和光学共振问题,以及线性弹性问题、热传导问题以及这些类型的任何耦合问题。 Ec/-f`8 通过JCMsuite,用户可以定义各种材料特性,例如复杂和各向异性的材料的介电常数和磁导率张量、分散特性、导热率和刚度。软件依赖基于残差的误差估计,自动选择各种数值设置,例如有限元度和PML(完全匹配层)设置。同时也特别关注光学上所有必要的后期处理和有效计算,例如傅立叶变换、远场、能量通量、重叠积分、光学成像、共振扩展和赛尔因子。 k-;A9!^h 本书详细介绍了JCMsuite各个应用领域的实操案例。本书共十一章,分别介绍了不同应用领域的案例介绍,包含激光、掩模、散射测量、椭偏仪、光伏发电、表面等离子体、光纤、光学手性、衍射光学元件以及光子晶体。每个案例都涵盖了建模流程,从材料定义、布局定义、光源定义到项目定义整个过程,旨在帮助JCMsuite初学者通过案例快速学会软件。本书主要参考JCMwave公司发布的案例翻译整理而成。 < %t$0' 《JCMsuite案例指导书籍》,是由上海讯技光电工程部成员翻译整理而来,译者希望本书能对JCMsuite的使用者有所帮助,通过学习后能较好的掌握JCMsuite软件的基本使用方法。由于译者水平有限,书中错误纰漏之处,敬请同行读者批评和指正。 @hG]Gs[,o GGWdMGI/ 讯技光电科技(有限)公司 2022年2月 上海 67{3/(`x vJ a?5Jr 目录 0sR+@\ 1.光源部分—引言 3 FQgc\-8tm 1.1垂直腔面发射激光器 3 :~ ; 48m 1.2高功率二极管激光器 7 !8Mi+ZV 1.3量子点发射器 12 ~stG2^"[ 1.3.1微米柱 12 &~
.n}h& 1.3.1.1旋转对称发射器 14 ?j:g. a+U 1.3.2微透镜 18 q=J8SvSRl 1.3.2.1耦合至光纤 20 (%\tE 1.3.3二维模型 22 {Rv0@)P$ 2.光掩模 23 .!^}sp,E 2.1衰减相移掩模 24 's>./Pf 2.1.1降基法 26 qJyGr ? 2.2独立的接触孔 33 Q$B\)9`v[ 2.3 EUV掩模 37 6$y$ VeW 2.4光学成像 42 b;~?a#Z} 3.散射测量 43 l.Yq4qW 3.1硅通孔技术 43 .271at#- 4.椭偏仪 48 Tg;1;XM% 4.1 块状材料 48 g4U`Qf3 5.光伏发电 51 LV6BSQyQ 5.1 薄膜太阳能电池 51 ^*@D%U 5.1.1薄膜太阳能电池一维模型 59 -nL!#R{e 6.表面等离子体光学 60 [a2Q ^ab 6.1孤立的狭缝和凹槽 61 FDQP|, 6.2等离子波导 66 tT`{xM 6.3等离子纳米天线 69 *`WD/fG 6.3.1共振扩张 71 j}F;Bfq! 7.光纤 72 EjjW%"C, 7.1单模光纤 72 5W4Tp% Lda 7.2折射率渐变光纤 74 l2ww3)Z 7.3弯曲单模光纤 77 |jw{7\+ 7.4光子晶体光纤 78 i[r>^U8O 7.4.1空心光子晶体光纤 78 rWS],q=c 7.4.1.1核心模式过滤 80 e'MLLC[ 7.4.1.2扭曲式光子晶体光纤 82 ZBxV& |