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微纳光学是当前光学学科发展最活跃的前沿之一,结合了光子学与纳米技术的前沿成果,主要优点是能在局域电磁相互作用的基础上实现许多全新的功能,成为21世纪不可或缺的关键科学和技术。微纳光学不仅是光学领域的前沿研究方向之一,也是目前新型光电子产业的重要发展方向,在光通信、光互联、光存储、传感成像、传感测量、显示、固体照明、生物医学、安全、绿色能源等领域起到不可替代的作用。在这些广泛的应用领域可以使用JCMsuite进行模拟分析与设计,大大降低时间成本和物料成本。 5QR}IxQ JCMsuite是基于有限元方法(FEM)的一款纳米光学软件包。使用有限元方法(FEM)计算复杂纳米光学系统中电磁场分布,为解决科学和技术挑战提供了一种通用、严格且非常快速的方法。JCMsuite可以解决时谐麦克斯韦方程组的光散射问题、波导设计问题和光学共振问题,以及线性弹性问题、热传导问题以及这些类型的任何耦合问题。 6%>/og\% 通过JCMsuite,用户可以定义各种材料特性,例如复杂和各向异性的材料的介电常数和磁导率张量、分散特性、导热率和刚度。软件依赖基于残差的误差估计,自动选择各种数值设置,例如有限元度和PML(完全匹配层)设置。同时也特别关注光学上所有必要的后期处理和有效计算,例如傅立叶变换、远场、能量通量、重叠积分、光学成像、共振扩展和赛尔因子。 7k>zuzRyF 本书详细介绍了JCMsuite各个应用领域的实操案例。本书共十一章,分别介绍了不同应用领域的案例介绍,包含激光、掩模、散射测量、椭偏仪、光伏发电、表面等离子体、光纤、光学手性、衍射光学元件以及光子晶体。每个案例都涵盖了建模流程,从材料定义、布局定义、光源定义到项目定义整个过程,旨在帮助JCMsuite初学者通过案例快速学会软件。本书主要参考JCMwave公司发布的案例翻译整理而成。 ;JYoW{2 《JCMsuite案例指导书籍》,是由上海讯技光电工程部成员翻译整理而来,译者希望本书能对JCMsuite的使用者有所帮助,通过学习后能较好的掌握JCMsuite软件的基本使用方法。由于译者水平有限,书中错误纰漏之处,敬请同行读者批评和指正。 ?3[tJreVj %=BtOM_2 讯技光电科技(有限)公司 2022年2月 上海 Bk+{}  o5>/}wIf 目录 *h2`^Z 1.光源部分—引言 3 D^nxtuT* 1.1垂直腔面发射激光器 3 ?J<T 1.2高功率二极管激光器 7 mLJDxh'B 1.3量子点发射器 12 }bp.OV-+ 1.3.1微米柱 12 <p09oZ{6 1.3.1.1旋转对称发射器 14 3Mw}R6g@# 1.3.2微透镜 18 &%6NQWW 1.3.2.1耦合至光纤 20 NJ<N %hcjK 1.3.3二维模型 22 #aa1<-&H 2.光掩模 23 (X*9w##x( 2.1衰减相移掩模 24 bCzdszvg3 2.1.1降基法 26 =9(tsB gTX 2.2独立的接触孔 33 :xM}gPj" 2.3 EUV掩模 37 `6P?G|' 2.4光学成像 42 M</Wd{.g" 3.散射测量 43 7g5@vYS+ 3.1硅通孔技术 43 |!oXvXU 4.椭偏仪 48 o'96ON0 4.1 块状材料 48 ( :iPm< 5.光伏发电 51 aF!WIvir 5.1 薄膜太阳能电池 51 V#NtBreN 5.1.1薄膜太阳能电池一维模型 59 |<1M&\oaQ' 6.表面等离子体光学 60 e^=NL>V6p 6.1孤立的狭缝和凹槽 61 X CzXS. 6.2等离子波导 66 bGu([VB 6.3等离子纳米天线 69 !f`5B( @ 6.3.1共振扩张 71 w?_`/oqd| 7.光纤 72 };^}2Xo+ 7.1单模光纤 72 W]zwghxH 7.2折射率渐变光纤 74 )L >Q;' 7.3弯曲单模光纤 77 vnL?O8`c 7.4光子晶体光纤 78 D!S8oKW 7.4.1空心光子晶体光纤 78 {a.
<` 7.4.1.1核心模式过滤 80 -n-Z/5~ X 7.4.1.2扭曲式光子晶体光纤 82 ;7L ; 7.4.2多核光子晶体光纤 82 FJ}gUs{m 7.4.2.1减少计算域问题 84 JDKLKHOMZ 8.光学手性 85 l77'Lne 8.1孤立散射体 85
^iuo^2+ 8.2四分之一波片 88 fQO
""qh 9.散射光学元件 90 ]hL:33 9.1光栅 91 .+HcA x{/2 9.1.1线栅 92 **n y! 9.1.2闪耀光栅 95 1U'ZVJ5bpK 9.1.3方形晶胞 97 UG # X/%p 9.1.4六方晶胞 99 j$mz3Yk 9.2孤立线栅 101 <n\i>A3`,S 9.3光阑 104 m d_g}N(C 9.4狭缝 106 >O3IfS(l 9.5十字交叉结构 109 ??j&i6sp 9.6 纳米球 110 @%:E } 10.硅光子 117 Ok,HD7 10.1脊形波导 117 s*.3ZS5 10.2环形谐振腔 119 I3PQdAs~&h 10.3光子晶体谐振腔 124 FllX za) 11.光子晶体 126 Zt_r9xs> 11.1光子晶体谐振腔 126 :T5A84/C 11.2光子晶体光纤 128 y]
y9'5_ 11.3一维光子晶体 128 bJPJ.+G7
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