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    [技术]泰伯效应 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-08-02
    A).wjd(_,  
    衍射光学中,当周期性结构被准直光照射时,可以观察到在物体后面周期性距离处形成的周期性结构的图像。这就是众所周知的 Talbot 效应(用所谓的 Talbot 距离来描述周期性间隔),它已经在例如光刻中得到了常规应用。 & d~6MSk  
    5$9j&&R  
    利用快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion的场跟踪技术,可以充分研究这种效应及其应用。请看下面的例子,在这些例子中,我们用线性和交叉图案演示Talbot效应的基本原理,并更仔细地研究特定的光刻应用,以产生纳米结构。 K@?S0KMK  
    圆锥相位掩模版的泰伯成像 sM-k,0z  
    wRWN]Vo  
         E7 7Au;TL  
    在VirtualLab Fusion中对带有一层圆锥体的相位掩模板进行了严格的建模。检测到不同的Talbot图像,其中柱图案在主图像平面中再现,而孔图案在次图像平面中再现。 (s \Nm_j  
    泰伯效应的建模 T T29 LC@  
    ="XxS|Mq3  
         ==Y^~ab;K  
    我们演示了Talbot效应的建模,Talbot效应是一种众所周知的来自周期结构(如光栅)的近场衍射效应。
     
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