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薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 ytcLx77`: m%|\AZBA# `^)`J S@qPf0dL< 建模任务 v$}^$8` jX7K-L O/~T+T% TNu %_
34 正弦光栅—效率与高度(TEA) [c?0Q3F ZdW+=;/# Igo`\JY yhH2b:nY(9 正弦光栅—透射相位曲线 y_WC"
D2ggFxqe (TeH)j! ;j0.#P:a 正弦光栅—透射相位曲线 ,+i^]yF3j +Y?Tr i 4!!|P fG 2)r 正弦光栅—衍射效率 c^|8qvS$ IogLkhWX `gl?y;xC HYl+xH'.j 正弦光栅—效率与周期 uI,*&bP d!I%AlV WyV4p r6S 正弦光栅—特定周期下的相位曲线 nDkG}JkB! YdI6|o@vc 6C$+D gc4o
|x 闪耀光栅—效率与高度(TEA) -l=C7e U`*we43 |6AR! L`t786
(M 闪耀光栅—透射相位曲线 SrA6}kS IsE&k2 SD tN{0C/B9 O!Ue0\1Kj0 闪耀光栅—衍射效率 q~qz^E\T (s'xO~p v=^^Mr"Z^ >D=X
Tgqqq 闪耀光栅—效率与周期 +9HU&gQ3 L'y0$ P.(UbF d' W@}@5,}f> 闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 QmBHD;Gf &Hw:65O 3g7]$} {Lju7'5L VirtualLab Fusion一瞥 yc0
1\o #mH28UT TrDTay fTmJDUv+ VirtualLab Fusion工作流程 py$Gy-I~[ e\z,^ ,5 ,r. • 设置光栅结构 o=VZ7] −使用界面配置光栅结构[用户案例] wgSFL6Ei • 分析光栅衍射效率 k1[`2k:Hk −光栅阶次分析器[用户案例] #W:.Fsq • 通过参数运行检查不同参数的影响 5!Er;e − 利用参数运行文档[用户案例] pTAm} 2zo>`;l UXSwd#I& :MDFTw~ | VirtualLab Fusion技术 # wn>S< V^(W)\ ^cdbM
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