目前太赫兹(Terahertz, THz)成像技术在许多领域被视为最前沿技术之一，经过20年的发展，取得了巨大进步。随着科研、医疗、军事以及工业应用需求的增长，高分辨率THz图像变得不可或缺。超分辨率成像是目前THz技术的研究热点。本文首先回顾了THz系统的成像方法，包括连续波成像与脉冲波成像两种方式；在此基础上，详细介绍了THz超分辨率成像系统与THz信号处理技术，其中超分辨率成像系统包括近场成像、超透镜以及太喷射装置等，THz信号处理技术包括超分辨率重建与卷积计算等；最后，通过分析目前超分辨率成像存在的不足，比如系统的制造工艺要求高、采集速度慢以及重建图像使用的学习样本分辨率较低等，从而进一步对超分辨率成像研究方向进行展望。
