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    [分享]近红外超透镜的设计与制备 [复制链接]

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    离线gangzi0801
    技术专家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-04-14
    关键词： 超透镜
    超透镜是基于超表面的成像器件，能够精确调控光的相位、偏振、振幅，具有轻薄、易集成、平面化的优点。针对近红外成像器件的小型化、集成化发展趋势，基于非晶硅材料设计制备了近红外偏振不敏感超透镜。针对超透镜的基元结构选择问题，对比了采用8阶、6阶基元设计的超透镜聚焦效率；为提高加工容差和降低加工难度，采用了最大深宽比为6的8阶基元设计超透镜；针对超透镜仿真与加工之间跨度大的问题，利用化学气相沉积的方法生长了600 nm厚度的多晶硅，利用电子束刻蚀等工艺制备了超透镜样品。测试结果表明：超透镜形貌结构良好，聚集效率为65%。
    附件: 近红外超透镜的设计与制备.rar (1175 K) 下载次数:35 ，售价:2光币[记录]
     
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    离线zju2013mz
    实习生
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    只看该作者 1楼 发表于: 2022-04-22
    感谢楼主分享资源！学习！
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    离线ct423
    技术员
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    只看该作者 2楼 发表于: 2022-04-28
    学习一下
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    离线未来天气
    技术员
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    只看该作者 3楼 发表于: 2022-12-28
    感谢楼主资料分享
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    离线rainbowsea
    实习生
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    只看该作者 4楼 发表于: 2023-04-28
    感谢分享，非常需要
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